EHDJet-S工業級電流體噴霧制膜裝備
產品描述
EHDJet系列電流體動力印刷設備,源自華中科技大學數字制造裝備與技術國家重點實驗室的高分辨率電流體噴印原創技術,榮獲國際日內瓦發明展金獎、湖北省技術發明一等獎、湖北省自然科學一等獎等,利用電流體動力學原理(EHD),配置高速視覺系統、高精度多自由度運動平臺、精密供墨系統等功能模塊,適用1-10000cPs粘度的有機/無機墨水,集成按需點噴、紡絲直寫、霧化制膜三種打印模式,支持矢量圖、位圖等圖形輸入,高精度制備微納級點/點陣、線/曲線、薄膜結構等復雜微納圖案,在眾多領域如柔性電子器件、柔性觸摸屏、柔性體征貼片、太陽能薄膜電池、柔性傳感器,生物支架、組織工程、有機發光二極管、生物傳感器等領域有巨大潛力,并獲得廣泛應用,是柔性印刷的首選。
EHDJet-S型電流體噴霧制膜技術,通過高壓電場引導高速射流尖端突破瑞利極限,多次炸裂產生fL級霧滴,可沉積≥50nm厚均勻致密薄膜,相比旋涂、刮涂2D制膜,EHDJet-S可以制備3D及鏤空結構微納級薄膜,是微電子、半導體、能源電池、生物醫藥等專用裝備之一。
采用EHDJet-S型電流體噴霧制膜效果:3D薄膜(3~50μm)/均勻/效率高/良率高
主要參數說明:
?原創電流體噴霧工藝與自主專利技術
?適應材料粘度:≤500cP
?電流體噴霧液滴:fL級
?最小制造薄膜膜厚:50nm
?打印幅面:單次幅面0.1m(可定制)
?集成多噴頭:≥10個(可定制)
?適用材料體系:光刻膠、鈣鈦礦、納米材料、聚合物單體等有機/無機墨水
?應用領域:光刻、顯示、太陽能電池、燃料電池、薄膜封裝、醫藥等
技術對比 | 電流體噴霧 | 超聲噴霧 |
噴膠粘度 | ≤500cP | ≤100cP |
霧滴體積 | fL級 | pL級 |
制膜厚度 | ~50nm | ≥10μm |
薄膜質量 | 均勻致密 | 液滴大、凹坑 |
制造效率 | 多噴頭、大面積 | 單噴頭、效率低 |
材料利用率 | ≥60% 霧滴聚焦 | <30% 霧滴分散 |